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蓝光led采用的衬底材料不是ic中常见的硅晶圆,而是晶体结构和gan接近,但晶格常数失配的蓝宝石。
由于晶格失配,gan外延层和蓝宝石衬底之间存在失配应力,应力的释放会导致gan内部产生大量缺陷。这样的材料是没有使用价值的。
“是,是我说的。但晶体缺陷问题,不是我发现的,它是蓝光led道路上的一个公认难题。”
“我当然知道问题不是你发现的。”刘民学用手轻轻拍了下桌子。“可晶体缺陷,到底发生了没有?”
“晶体缺陷的问题,我们也遇到了。”王青山把两手一摊。“但问题被陈泉解决了。”
“解决了?怎么解决的?谁解决的?是修改设备了吗?我怎么没有收到修改通知书呢?”
刘民学感觉才两天没有关注,mocvd项目组里居然发生了如此多的事情。
“陈泉没有修改设备,而是修改了工艺步骤。他用了两段的加热方式。先在较低的温度生成一层gan。然后再把温度提高到正常的1000度。由于应力会在低温gan层被释放掉,最后生成的高温gan,晶体品质就没有问题了。”
“就这么简单?先用低温,再用高温?”
刘民学简直不能相信自己的耳朵。gan晶格缺陷问题,名气非常大。但陈泉的方案,既没有增加设备,也没有增加成本。
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